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微量金属分析 セレクションガイド

【超純水】UHPグレード・Honeywell社製TraceSELECT™の規格値 比較

UHPグレード 超純水 Honeywell-Riedel-de Haen TraceSELECT for trace analysis
容量 500mL -
容器 ポリエチレン(PE)製瓶 -
銀(Ag) 50ppt以下 1ppb以下
アルミニウム(Al) 50ppt以下 1ppb以下
ひ素(As) 50ppt以下 1ppb以下
金(Au) 50ppt以下 1ppb以下
バリウム(Ba) 50ppt以下 1ppb以下
ベリリウム(Be) - 1ppb以下
ビスマス(Bi) - 1ppb以下
カルシウム(Ca) 50ppt以下 5ppb以下
カドミウム(Cd) 50ppt以下 1ppb以下
セリウム(Ce) - 1ppb以下
コバルト(Co) 50ppt以下 1ppb以下
クロム(Cr) 50ppt以下 1ppb以下
セシウム(Cs) 50ppt以下 1ppb以下
銅(Cu) 50ppt以下 1ppb以下
鉄(Fe) 50ppt以下 5ppb以下
ガリウム(Ga) 50ppt以下 1ppb以下
ゲルマニウム(Ge) 50ppt以下 1ppb以下
水銀(Hg) - 1ppb以下
インジウム(In) - 1ppb以下
イリジウム(Ir) - 1ppb以下
カリウム(K) 50ppt以下 5ppb以下
リチウム(Li) 50ppt以下 1ppb以下
マグネシウム(Mg) 50ppt以下 1ppb以下
マンガン(Mn) 50ppt以下 1ppb以下
モリブデン(Mo) 50ppt以下 1ppb以下
ナトリウム(Na) 50ppt以下 5ppb以下
ニッケル(Ni) 50ppt以下 1ppb以下
鉛(Pb) 50ppt以下 1ppb以下
パラジウム(Pd) - 1ppb以下
白金(Pt) 50ppt以下 1ppb以下
ルビジウム(Rb) 50ppt以下 1ppb以下
ロジウム(Rh) - 1ppb以下
ルテニウム(Ru) - 1ppb以下
アンチモン(Sb) 50ppt以下 1ppb以下
セレン(Se) - 1ppb以下
すず(Sn) 50ppt以下 1ppb以下
ストロンチウム(Sr) 50ppt以下 1ppb以下
タンタル(Ta) 50ppt以下 -
チタン(Ti) 50ppt以下 1ppb以下
ウラン(U) - 0.5ppb以下
バナジウム(V) 50ppt以下 1ppb以下
タングステン(W) 50ppt以下 -
亜鉛(Zn) 50ppt以下 1ppb以下
ジルコニウム(Zr) 50ppt以下 1ppb以下

【IPA】UHPグレード・Honeywell社製TraceSELECT™・Semiconductor Gradeの規格値 比較

　 　 　
UHPグレード IPA Honeywell-Riedel-de Haen TraceSELECT for metal speciation analysis ≥99.9%(GC) HoneywellSemiconductor Grade VLSI
容量 1L,3L 1L 2.5L
容器 褐色ブルーム瓶 - -
色相（APHA） 5以下 - -
含量 99.99%以上 99.9%以上 99.8%以上
比重(20/20℃) 0.786～0.787 - 0.785～0.787
水分 0.01%以下 0.05%以下 500ppm以下
水溶状 濁りを生じない - -
屈折率n20/d - - 1.3770～1.3780
不揮発物 - - 5ppm以下
硫酸着色物質 - - -
遊離酸(CH3COOHとして) 5ppm以下 - 10ppm以下
n-プロパノール 50ppm以下 - -
塩化物(Cl) 5ppb以下 - 1ppm以下
亜硝酸塩(NO2) - 10ppb以下 -
硝酸塩(NO3) - 25ppb以下 -
りん酸塩(PO4) - 50ppb以下 -
硫酸塩(SO4) 5ppb以下 50ppb以下 1ppm以下
臭素(Br) - 10ppb以下 -
塩素(Cl) - 25ppb以下 -
フッ素(F) - 10ppb以下 -
ヨウ素(I) - 10ppb以下 -
過酸化物(H2O2として) - 5ppm以下 -
プロピオンアルデヒド(GC) - 20ppm以下 -
ケトン類(CH3COCH3として) - 20ppm以下 100ppm以下
銀(Ag) 100ppt以下 0.5ppb以下 0.01ppm以下
アルミニウム(Al) 100ppt以下 5ppb以下 0.05ppm以下
ひ素(As) 100ppt以下 1ppb以下 0.01ppm以下
金(Au) 100ppt以下 0.5ppb以下 0.02ppm以下
ホウ素(B) - - 0.01ppm以下
バリウム(Ba) 100ppt以下 0.5ppb以下 0.02ppm以下
ベリリウム(Be) - 0.5ppb以下 0.01ppm以下
ビスマス(Bi) - 0.5ppb以下 0.02ppm以下
カルシウム(Ca) 100ppt以下 30ppb以下 0.05ppm以下
カドミウム(Cd) 100ppt以下 0.5ppb以下 0.01ppm以下
コバルト(Co) 100ppt以下 0.5ppb以下 0.01ppm以下
クロム(Cr) 100ppt以下 1ppb以下 0.01ppm以下
セシウム(Cs) 100ppt以下 0.5ppb以下 -
銅(Cu) 100ppt以下 1ppb以下 0.01ppm以下
鉄(Fe) 100ppt以下 5ppb以下 0.05ppm以下
水銀(Hg) - 1ppb以下 -
ガリウム(Ga) 100ppt以下 0.5ppb以下 0.01ppm以下
ゲルマニウム(Ge) 100ppt以下 - -
インジウム(In) - 0.5ppb以下 0.01ppm以下
イリジウム(Ir) - 0.5ppb以下 -
カリウム(K) 100ppt以下 10ppb以下 0.02ppm以下
リチウム(Li) 100ppt以下 0.5ppb以下 0.01ppm以下
マグネシウム(Mg) 100ppt以下 10ppb以下 0.02ppm以下
マンガン(Mn) 100ppt以下 5ppb以下 0.01ppm以下
モリブデン(Mo) 100ppt以下 0.5ppb以下 0.01ppm以下
ナトリウム(Na) 100ppt以下 250ppb以下 0.1ppm以下
ニッケル(Ni) 100ppt以下 5ppb以下 0.01ppm以下
鉛(Pb) 100ppt以下 0.5ppb以下 0.01ppm以下
パラジウム(Pd) - 1ppb以下 -
白金(Pt) 100ppt以下 0.5ppb以下 0.02ppm以下
ルビジウム(Rb) 100ppt以下 0.5ppb以下 -
ロジウム(Rh) - 0.5ppb以下 -
ルテニウム(Ru) - 0.5ppb以下 -
アンチモン(Sb) 100ppt以下 0.5ppb以下 0.01ppm以下
セレン(Se) - 1ppb以下 -
すず(Sn) 100ppt以下 0.5ppb以下 0.02ppm以下
ストロンチウム(Sr) 100ppt以下 0.5ppb以下 0.01ppm以下
タンタル(Ta) 100ppt以下 - -
チタン(Ti) 100ppt以下 5ppb以下 0.01ppm以下
タリウム(Tl) - 0.5ppb以下 0.01ppm以下
ウラン(U) - 0.5ppb以下 -
バナジウム(V) 100ppt以下 0.5ppb以下 0.01ppm以下
タングステン(W) 100ppt以下 - -
亜鉛(Zn) 100ppt以下 5ppb以下 0.02ppm以下
ジルコニウム(Zr) 100ppt以下 0.5ppb以下 0.01ppm以下